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Autosamdri®-815, Series B

Autosamdri®-815, Series B

Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri®-815's trademark; allowing anti-stiction processing of 10mm square die as well as 1" (25mm) wafers.

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Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri®-815's trademark; allowing anti-stiction processing of 10mm square die as well as 1" (25mm) wafers.

特点：
  • 方晶和1”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；
  • 通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性；
  • 电磁阀门以及密封适用于LCO2、乙醇及丙酮；
  • 内表面适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮；
  • 可重复设定操作参数确保了结果的可重复性；
  • 每次运行可以处理5×10mm的方晶或5×1”的圆晶，（提供可以兼容HF的样品架，方便处理样品）；
  • 集成自动控温；
  • 内置圆盘裂片保证安全；
  • 每个操作模式LED显示，一目了然；
  • 洁净室和防静电兼容设计；
  • 先进的固态电子系统；
  • 高效隔热冷却系统：在90秒内可以把样品室从室温冷却到操作所需温度；
  • 静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；
  • 0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；
  • 内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；
  • 微型计量阀门带游标卡尺，可实现重复设定及控制流速;
  • 标配SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

规格：
  • 外部尺寸：宽14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 长21.5” (54.6cm)；
  • 占地尺寸：宽36” (92 cm) × 深30” (76 cm)；
  • 样品室尺寸：内径1.25” × 深1.25”; 样品室容积：25ml
  • 温度范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力范围：0 - 2000 psi；
  • Purge时间范围：0-45 min
  • 120V/50-60HZ(可选其他电压)；


标准配件：
  • 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；
  • 外部LCO2过滤装置，去除水/油以及颗粒（小至0.5μm），过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；
  • SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳，降低排气噪音；
  • 防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；
  • 内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门
  • 流量计，可精确控制BLEED的排气速率；
  • 样品室O型圈2个，样品室照明灯2个，5A保险丝2个；
  • HF兼容的10mm方晶PTFE插片架，每次操作最多能装载5个晶片
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