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Monarc CL 探测器

重新定义SEM上阴极荧光的表征能力

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重新定义SEM上阴极荧光的表征能力

优点: 

通过突破性的光路设计,Monarc具有显著增加的灵敏度和谱分辨率,由此带来的独具特色的波长-角度分辨能力,使您能够进行更为完整的阴极荧光(CL)表征分析工作。作为新一代的CL探测器,Monarc为高要求的纳米光子学(nanophotonice)、光电子学(optoelectronics)以及地质科学等应用领域带来了全新的见解。

快速获取高质量数据
  • 以优异的空间分辨率(<10 nm)、角分辨率(1°)和波长分辨率(0.1 nm)采集CL数据
  • 采集同时具有角度和波长分辨的CL数据
  • 相较前代技术,以高达30倍的更快速度采集超光谱(hyperspectral)数据

操作简便

  • 通过全自动的光路对准和基于配方驱动的操作,得到优化的结果
  • 恒常对准的光路为短期与长期工作带来可重复的结果
  • 大视野提高数据采集通量,并简化用户的工作流程

与其它信号的精确关联

  • 同时侦测多种信号,对物理性质或成分信息与CL数据进行关联成像
  • 不需折衷妥协——在进行CL测量的同时,充分利用SEM的in-lens探头

特色功能

  • 角度分辨(angle-resolved CL,ARCL):在远低于光学衍射极限的尺度上理解光与物质的交互作用——相较前代技术,400x 更大视野,且不产生实际分辨率损失(专利申请中)
  • 波长-角度分辨(wavelength- and angle-resolved CL, WARCL):跨越多重观察角度与波长,对光与物质的交互作用进行可视化——归功于独特的光路设计,以前无法做到或非常难以实现的表征手段,在Monar上成为常规工作
  • 偏振过滤:获知例如光波段担任纳米天线、光子晶体等深度次波长结构的发光偏振性能
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